HISOMET係列工具顯微鏡為一專業X、Y、Z軸座標測量顯微鏡,X、Y工作台行程由50×50mm到大行程500×500mm,放大倍數由5×至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測量時的精度,Z軸對焦采用一磚利光學“裂像指示器”,結合精密的Z軸“Cross Roller Bearing”導軌,可測範圍25 mm,精度高達1μm,配合特殊附件,測量分解度更可達0.5μm或0.1μm。
非接觸式測量顯微鏡
對焦清楚後如下圖:
應用實例:
技術規格: